SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH


Art

Produktionsunternehmen

Schwerpunkte

SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH, Krailling, kurz SENTECH genannt, ist die Vertriebsfirma für Produkte von

  • SENTECH Instruments GmbH, Berlin
  • Freiberg Instruments GmbH, Freiberg, Sachsen

SENTECH hat sich auf den Vertrieb von Anlagen und Instrumenten zu speziellen Themen der Dünnschichttechnologie fokussiert.
Dazu gehören die Herstellung von dünnen Schichten mit Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) und thermische und plasma-unterstützte Atomic Layer Deposition (PE ALD). Ganz besonders hervorzuheben sind schädigungsarm abgeschiedene Schichten mit IC-PECVD, z.B. für die Nanotechnologien, die Abscheidung von Feuchtesperren auf organischen Substraten mit IC PECVD bei niedrigen Temperaturen oder 3d konforme Beschichtung mit ALD.

SENTECH besitzt besonderes Know-how beim reaktiven Ionen Ätzen (RIE) unter Ausnutzung der ICP Quellen z.B. bei der Herstellung von Photonischen Kristallen und dem Ätzen von Nanostrukturen. ICP Ätzanlagen von SENTECH werden auch in der Herstellung von MEMS und Mikrooptiken eingesetzt.

SENTECH Instruments stellt Ellipsometer und Reflektometer zur berührungslosen optischen Vermessung von dünnen Schichten her. Die spektroskopischen Ellipsometer von SENTECH sind Weltmarkt Führer bei der Charakterisierung von dünnen Schichten. Ein aktuelles Beispiel sind die AR Schichten und TCOs bei Solarzellen.

Der  MDPmap (MDP: Microwave detected photoconductivity) von Freiberg Instruments misst die Ladungsträgerlebensdauer in Si. Mit der Lebensdauermessung werden in der Halbleitertechnologie die Kontamination mit Verunreinigungen in Prozessen überwacht.

Kontakt

SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH
Konrad-Zuse-Bogen 13
82152  Krailling
Telefon: +49 89 89 79 607 0
Telefax: +49 89 89 79 607 22
E-Mail: sales(at)sentech.de 

http://www.sentech-sales.de